株式会社P.R.A.｜千葉県ものづくりネットワーク

プラズマ技術の精度向上に貢献します。

企業の紹介

RF電源、マッチングネットワーク、DC電源の販売及びサービスを中心に幅広く電子機器の設計製造・修理、アプリケーションを含めた統合サポートを行っています。
プラズマアプリケーション、電気、機械、真空などの豊富な経験と知識を生かし、問題解決と改善を行い、お客様の装置安定稼動、生産性の向上に貢献することを目指しております。

事業内容

半導体製造において重要な役割を果たすプラズマに対して、マッチングネットワークやDC電源、RF電源は必要不可欠な装置であります。
これらの装置は日々進化を遂げる半導体技術に対応が追いついておらず、定格不足による故障が多発しております。
当社では従来より故障が起きた際の修理や改善を行ってきましたが、故障原因の抜本的な解決にはなっていなかったため、お客様のニーズに対応した自社製品の開発を始めました。

具体的内容：

マッチングネットワークの設計・製造・販売・修理
ESC用高電圧電源の設計・製造・販売・修理
DC電源、RF電源、RPSの修理・アップグレード
マルチチャンネル位相シフターの設計・製造
ウェハー搬送用ロボットの修理・アップグレード
高電圧電源のOEM製作我が社の自慢

高周波整合器

ECS用高圧電源

マルチチャンネル位相シフター

自社開発製品写真（左から順に、マッチングネットワーク（インピーダンス整合器）、ESC用高圧電源装置、マルチチャンネル位相シフター）

我が社の自慢

保有技術について

概要

動作検査技術：
電源、マッチングネットワーク等、社内で修理・開発した装置は全て社内で動作を確認しております。実地検査が必要な装置もありますが、装置単体での動作は一度社内で行い、お客様のニーズに対応しているかどうか試験を実施しております。

修理技術
故障が発生した装置の故障原因を追究し、解決いたします。半導体関連の装置は一つ壊れると接続されている装置が全て停止してしまうため、まずはどの装置が故障したのかを絞り込み、不必要な作業を避け、コストの削減にも努めております。

対応可能な範囲、種類、精度等

半導体業界に限らず、プラズマを使用する全てのメーカーに対応しております。めっき加工や表面処理、液晶、集積メモリ、医療など、半導体技術は全ての電化製品に使われていると言っても過言ではありません。
半導体技術はマイクロ、ナノといった非常に微小なスケールでの加工を行うため、当社では検査時の測定誤差や再現性は入念にチェックを行っており、誤差を1%以下に抑えるよう努めております。

保有設備、環境について

デジタルマルチメーター
ネットワークアナライザー
シグナルジェネレータ

企業概要

企業名	株式会社P.R.A.
所在地	〒270-2231 千葉県松戸市稔台8-33-3
連絡先	TEL：047-369-3389
URL	株式会社P.R.A. http://www.pra.jp
認定、受賞等	平成29年度「千葉ものづくり認定製品」認定、平成30年度「千葉ものづくり認定製品」認定