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株式会社P.R.A.｜千葉ものづくり認定製品

シリコンウェハーのESC用高圧電源

認定番号第141号

低コスト・短納期・長寿命を実現させたESC（静電吸着）用電源

特徴

• 真空下の半導体の加工プロセスで使用され、静電気によってシリコンウェハーを固定するための高圧電源。
• 従来品と比較して部品点数を最小限に抑え、回路パターンを再構成することで低コスト化、長寿命化を実現。
• 国内生産により、海外製の他社ESC電源よりも短納期を実現。

　

認定企業からのコメント

株式会社P.R.A.はプラズマアプリケーション、電気、真空、ソフトウェアといった総合的な知識と技術を活かし、半導体・プラズマ製造装置と周辺装置を製作・修理するリーディングカンパニーとして常に最先端の技術に取り組んでまいりました。ESC電源は故障の事象に対処するのではなく、自社開発により根本原因を解決して製品寿命を延ばすことで、お客様のコスト削減、技術向上に貢献してまいります。

株式会社P.R.A.連絡先

代表者名	代表取締役社長　坂本　勝己
所在地	〒270-2231　千葉県松戸市稔台8-33-3
電話番号	047-369-3389
URL	株式会社P.R.A. http://www.pra.jp/