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主要設備（イオンミリング装置（平面ミリング））：産業支援技術研究所・天台庁舎

機器設備の概要、型番など

概要	本装置は、走査電子顕微鏡（SEM）、表面分析装置（EDX、EBSPなど）用の試料前処理装置で、アルゴンイオンビームにより試料の表面層の除去や断面試料の最終仕上げに威力を発揮します。
製造者	株式会社日立ハイテクノロジーズ
型番	IM-4000
導入年度	2013
備考	この設備は地域新産業創出基盤強化事業（経済産業省 平成24年度補正予算事業）により整備しました。

主な仕様及び性能

機器設備の仕様など

使用ガス	アルゴンガス
加速電圧	0から6キロボルト
最大ミリングレート	毎時約2マイクロメートル【材料：Si】
最大試料サイズ	直径50ミリメートル 高さ25ミリメートル

イオンミリング装置の外観