ここから本文です。

更新日:令和6(2024)年6月10日

ページ番号:525152

主要設備(卓上型走査電子顕微鏡(元素分析機能付)):産業支援技術研究所・加曽利庁舎

機器設備の概要、型番など

概要

試料の表面形状を拡大観察し、更に観察領域の元素情報も調べることができる装置です。
原理は、試料に電子線を照射し、試料から放出される反射電子や二次電子を検出して表面形状を観察し、更に特性X線を検出して元素情報を得ます。
観察・分析は、低真空状態で行われるため、導電性の無いセラッミクス等の試料や生体試料を、コーティング等の前処理なしで直ぐにそのまま観察できます。加えて、クールステージを使用することで、電子線照射によるダメージに弱い試料も比較的安定的に観察・分析が行えます。
操作はいたって簡単です。試料室内のカメラ画像で簡単に観察箇所を探すことができます。ほとんどの操作は、マウスを使って直観的に行えます。初心者の方でも直ぐに操作方法を理解できます。

製造者

株式会社日立ハイテクノロジーズ

型番

  • 卓上型走査電子顕微鏡(SEM) TM4000 Plus
  • エネルギー分散型X線分析装置(EDS) AZtecLiveOne Xplore

導入年度

  • 卓上型走査電子顕微鏡(SEM) 2019
  • エネルギー分散型X線分析装置(EDS) 2022

備考

補助事業のサイトへリンク外部サイトへのリンク補助事業者の公式サイトへリンク外部サイトへのリンク

※この機器設備は公益財団法人JKAの競輪・オートレース売上金による補助事業により整備しました。

主な仕様及び性能

機器設備の仕様など

倍率

10から100,000倍

写真倍率127ミリメートルx95ミリメートル写真を基準

画像信号 反射電子、二次電子、合成
試料可動範囲
  • X40ミリメートル
  • Y35ミリメートル
最大試料サイズ
  • 直径80ミリメートル
  • 厚さ50ミリメートル
加速電圧 5キロボルト、10キロボルト、15キロボルト
真空モード 導電体、標準、帯電軽減
検出可能元素

B5からU92まで

(ボロンからウランまで)

元素分析モード スポット、ライン、マッピング
クールステージ設定温度 -20から50℃まで

 

卓上型走査電子顕微鏡(元素分析機能付)の外観

写真1 卓上型走査電子顕微鏡(元素分析機能付)の外観

  • 机上左端が卓上電子顕微鏡本体

EDS検出器

写真2 EDS検出器

  • 卓上型走査電子顕微鏡本体左側面を開けた状態

クールステージ

写真3 クールステージ

お問い合わせ

所属課室:商工労働部産業支援技術研究所化学技術室

電話番号:043-231-4346

ファックス番号:043-233-4861

より良いウェブサイトにするためにみなさまのご意見をお聞かせください

このページの情報は役に立ちましたか?

このページの情報は見つけやすかったですか?