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更新日:令和6(2024)年6月10日

ページ番号:649590

主要設備(イオンスパッタ):産業支援技術研究所・加曽利庁舎

機器設備の概要、型番など
概要
電子顕微鏡での観察の際に、試料表面に白金(Pt)を被覆させ試料に導電性を付与させる装置です。
製造者
日本電子株式会社
型番
JEC-3000FC
導入年度
2023
備考

主な仕様及び性能

機器設備の仕様など
スパッタリング方式

マグネトロン方式

ターゲット Pt
試料台 直径64ミリメートル

装置外観の写真
写真 装置外観

お問い合わせ

所属課室:商工労働部産業支援技術研究所化学技術室

電話番号:043-231-4346

ファックス番号:043-233-4861

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