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主要設備（電子線後方散乱回折システム）：天台庁舎

1.EBSDシステム

概要他一覧

概要	本装置は、走査型電子顕微鏡に取り付けることにより、電子線後方散乱回折パターンを測定・解析し、微小領域の結晶系や結晶方位の分布に関する情報を評価できます。
製造者	アメテック株式会社
型番	OIM 7.0 Hikari
導入年度	2014
備考	この設備は地域オープンイノベーション促進事業（経済産業省 平成25年度補正予算事業）により整備しました。

解析可能なデータ

• 結晶方位マップ
• 結晶粒(粒界)像
• 相分布
• 極点図、逆極点図
• 方位分布関数、方位差分布関数etc

2.断面試料加工装置

概要他一覧

概要	本装置は実体顕微鏡で観察しながら試料の切断・研削・研磨を行い、微小領域のターゲットサンプリングが可能です。
製造者	ライカ・マイクロシステムズ
型番	EM TXP
導入年度	2014
備考	この設備は地域オープンイノベーション促進事業（経済産業省 平成25年度補正予算事業）により整備しました。

主な用途

• SEM試料のイオンミリングの前加工
• SEM観察用の断面試料作製